DD马达

龙门式XY平面气浮平台

• 高动态性能
• 双驱轴、横梁轴均采用气浮导轨的结构
• XY行程灵活配置，根据要求订制行程
• 单轴直线度高，平面度高
• ******速度3m/s，******加速度3g
• 重复定位精度±0.2um，定位精度±1um
• 选用高分辨率绝对式光栅尺，并配置ACS控制驱动器模块，可提供优异的伺服性能、先进控制算法，从而提高动态性能和误差补偿，并改善一整套软件开发工具。

具体信息根据客户要求订制为准